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| 編輯推薦： |
《机械设计手册第5版 单行本》系列图书是以曾荣获中国出版政府奖提名奖，中国机械工业科学技术奖一等奖等国家及行业重量级奖项的《机械设计手册第5版》为基础，本着方便读者查阅、降低读者购买成本为宗旨而出版的经典再版图书。本套丛书共38分册，内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容，具有系统全面、信息量大、内容现代、凸显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。
本书供从事机械设计、制造、维修及有关工程技术人员作为工具书使用，也可供大专院校的有关专业师生使用和参考。
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| 內容簡介： |
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本单行本为《微机电系统设计与激光》，主要介绍微机电系统基本概念与应用领域、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等；激光加工概论（激光器基础、加工中常用的激光器、激光加工物理基础）、激光打孔、激光切割、激光焊接、激光淬火、激光熔覆与合金化、激光冲击强化、激光在其它机械工程领域的应用、激光加工的安全防护等。
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| 關於作者： |
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闻邦椿，现为东北大学教授、博士研究生导师、东北大学机械设计及理论研究所名誉所长，东北大学 “重大机械装备设计与制造关键共性技术创新平台”985工程建设的首席教授。2007年当选为中国科学院院士。现任国际转子动力学技术委员会委员、国际机器理论与机构学联合会中国委员会委员。
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| 目錄：
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出版说明
第5版前言
第29篇 微机电系统及设计
第1章 微机电系统概述
1 基本概念
1.1 微传感器
1.2 微执行器
1.3 微机电系统的基本特征
1.4 微机电系统和微电子的比较
2 微机电系统发展历程
3 微机电系统及相关技术
3.1 微机电系统组成
3.2 微机电系统设计
3.3 微机电系统制造
3.4 微机电系统封装
3.5 微机电系统装配
3.6 系统封装SiP
3.7 微机电系统可靠性
3.8 微机电系统测试
4 微机电系统应用领域
4.1 微机电系统在汽车中的应用
4.2 微机电系统在医疗和生命科学领
域的应用
4.3 微机电系统在航天工业的应用
4.4 微机电系统在电信领域中的应用
第2章 微机电系统制造
1 体硅微机械加工技术
1.1 硅晶体的描述
1.2 各向同性腐蚀
1.3 各向异性腐蚀
1.3.1 不同腐蚀液中的腐蚀速率
1.3.2 腐蚀速率与温度的关系
1.3.3 腐蚀速率与腐蚀液含量的关系
1.3.4 腐蚀速率与衬底掺杂浓度的
关系
1.3.5 不同腐蚀液中的腐蚀表面状况
1.3.6 各向异性腐蚀加工技术中的
凸角补偿方法
1.4 深反应离子刻蚀
1.4.1 刻蚀原理
1.4.2 载片台温度与SF6／O2配比
的影响
1.4.3 SF6流量与ICP功率的影响
1.4.4 滞后效应和凹缺效应
1.4.5 深反应离子刻蚀工艺优化
1.5 硅直接键合技术
1.5.1 硅直接键合技术的分类
1.5.2 键合前的清洗
1.5.3 键合表面的活化
1.5.4 平整度对键合的影响
1.5.5 键合后的热处理
1.5.6 键合质量的表征
2 表面微机械加工技术
2.1 表面微机械加工的薄膜材料及其
特性
2.1.1 多晶硅
2.1.2 氧化硅
2.1.3 氮化硅
2.1.4 其他表面微机械加工材料
2.2 牺牲层释放腐蚀技术
2.2.1 氧化硅牺牲层的腐蚀
2.2.2 粘附问题及其解决方案
2.3 标准化的表面微机械加工工艺
2.3.1 MuMPS加工工艺
2.3.2 SUMMiTTM-V加工工艺
3 玻璃微机械加工技术
3.1 湿法刻蚀
3.2 干法刻蚀
4 UV-LIGA技术
5 其他微机械加工技术
6 微机电系统制造工艺优先
第3章 微机电系统设计
1 设计工具
2 微机械润滑
3 静电执行器
4 压电执行器
5 热执行器
6 热气动和相变执行器
7 磁执行器
8 执行器比较
第4章 微机电系统实例
1 微机械压力传感器
2 微机械惯性传感器
3 微滴发生器
4 微流控芯片
5 微机械装置
6 微机器人
参考文献
第31篇 激光及其在机械工程中的应用
第1章 激光加工概论
1 激光机基础
2 加工中常用的激光器
3 激光加工物理基础
第2章 激光打孔
1 激光打孔的特点与分类
2 激光打孔的原理及物理过程
3 激光打孔工艺参数
4 激光打孔的质量检验
第3章 激光切割
1 激光气割机理
2 激光切割质量
3 影响激光切割质量的因素
4 常用工程材料的激光切割
第4章 激光焊接
1 激光焊接原理与分类
2 激光热传导焊接
3 激光深熔焊接
4 激光焊接中常出现的问题
5 典型材料的机关焊接
第5章 激光淬火
1 激光淬火原理与特点
2 激光淬火质量
3 激光淬火工艺及参数
第6章 激光熔覆于合金化
1 激光熔覆于合金化的基础
2 激光熔覆
3 激光合金化
4 激光熔覆于合金化的质量控制
第7章 激光冲击强化
1 概述
2 激光冲击过程机理
3 激光冲击的两种模型
4 涂层和约束涂层技术
5 激光冲击设备
6 典型材料的激光冲击强化效果
第8章 激光在其他机械工程领域的应用
1 激光板料成形
2 激光毛化
3 激光标记
4 激光表面非晶化
5 激光清洗
6 激光全息干涉无损检测技术
第9章 激光加工的安全防护
1 激辐射的危害
2 使用激光时伴随的危害
3 激光安全防护标准
4 激光危害分类
5 激光危害的工程控制
参考文献
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| 內容試閱：
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出版说明 ◆
《机械设计手册》（6卷本），自1991年面世发行，已四次更新，2010年第5版已经出版发行。截止2014年，手册累计发行35万套。作为国家级重点科技图书的《机械设计手册》，深受广大读者的欢迎和好评，在全国具有很大的影响力。该书曾获得中国出版政府奖提名奖（2013年）、中国机械工业科学技术奖一等奖（2011年）、全国优秀图书奖二等奖（1995年）、机械工业部科技进步奖二等奖（1997年），并多次获得全国优秀畅销书奖等奖项。1994年《机械设计手册》曾在台湾建宏出版社出版发行，在海外产生广泛影响。《机械设计手册》已成为机械设计领域的一种品牌大型工具书，已成为机械工程领域最具权威和最具影响力的大型工具书。
《机械设计手册》第5版是一部6卷本、共52篇的大型工具书。它与前4版相比，无论在体系上还是内容方面都有很大的变化。《机械设计手册》第5版在前4版的基础上，编入了国内外机械工程领域中的新标准、新材料、新工艺、新结构、新技术、新产品、新设计理论与方法，并重点充实了机电一体化系统设计、机电控制与信息技术、现代机械设计理论与方法等现代机械设计的最新内容。该版手册体现了国内外机械设计发展的最新水平，它精心诠释了常规与现代机械设计的内涵、全面荟萃了常规与现代机械设计的精华，它将引领现代机械设计创新潮流、成就新一代机械设计大师，为我国实现装备制造强国梦做出重大贡献。
《机械设计手册》第5版的主要特色是：体系新颖、系统全面、信息量大、内容现代、突显创新、实用可靠，简明便查。应该特别指出的是第5版手册具有高的科技含量和大量技术创新性的内容。手册中的许多内容都是编著者多年研究成果的科学总结。这些内容中有不少是国家863、973、985、科研重大专项，国家自然科学基金重大、重点和面上资助项目，有不少成果曾获得国际、国家、部委、省市科技奖励、技术专利，充分体现了手册内容的重大科学价值与创新性。如闻邦椿院士经过数十年研究创建的振动利用工程新学科，手册中编入了该类机械设计理论和方法。又如产品综合设计理论与方法是闻邦椿院士在国际上首先提出并依据八本专著综合后首次编入手册。该方法已经在高铁、动车及离心压缩机等机械工程中成功应用，获得了巨大的社会效益和经济效益。以综合设计方法作为手册的收尾篇是对所有设计容的系统化综合和运用，并对现代化大型机械产品的设计起到引领作用。闻邦椿院士在国际上首次按系统工程的观点对现代设计方法进行了分类，并由此选编了21种现代设计方法，构成了科学地论述和编纂现代设计理论与方法的专卷（手册第6卷），可谓之现代设计方法之大全。创新设计是提高机械产品竞争力的重要手段和方法，本版手册编入了29种创新思维方法、30种创新技术、40条发明创造原理。列举了大量的应用实例，为引领机械创新设计作出了示范。
在《机械设计手册》历次修订的过程中，出版社和作者都广泛征求和听取各方面的意见，广大读者在对《机械设计手册》给予充分肯定的同时，也指出《机械设计手册》版本厚重，不便翻阅和携带，希望能出版篇幅较小、针对性强、便查便携的更加实用的单行本。为满足读者的需要，出版社于2007年首次推出了《机械设计手册》第4版单行本。该单行本出版后很快受到读者的欢迎和好评。《机械设计手册》第5版已经面市，为了使读者能按需要、有针对性地选用《机械设计手册》第5版中的相关内容并降低购书费用，机械工业出版在总结《机械设计手册》第4版单行本经验的基础上推出了《机械设计手册》第5版单行本。
《机械设计手册》第5版单行本保持了《机械设计手册》第5版（6卷本）的优势和特色，依据机械设计的实际情况和机械设计专业的具体情况以及手册各篇内容的相关性，将原手册的6卷52篇进行精选、合并、重新整合为22个分册，分别为：《常用设计资料与零件结构设计工艺性》、《机械工程材料》、《零部件设计常用基础标准》《连接、紧固与弹簧》、《带、链、摩擦轮与螺旋传动》、《齿轮传动》、《减速器和变速器》、《机构、机架与箱体》、《轴及其连接件》、《轴承》、《起重运输零部件和操作件》、《润滑与密封》、《液压传动与控制》、《气压传动与控制》、《机电系统设计》、《工业机器人与数控技术》、《微机电系统设计与激光》、《创新设计与绿色设计》、《机械系统的振动设计》、《数字化设计》、《疲劳强度与可靠性设计》、《机械系统概念设计与综合设计》。各分册内容针对性强、篇幅适中、查阅和携带方便，读者可根据需要灵活选用。
《机械设计手册》第5版单行本是为了适应实现装备制造强国梦和广大读者的需要而编辑出版的，它将与《机械设计手册》第5版（6卷本）一起，成为机械设计人员、工程技术人员得心应手的工具书，成为广大读者的良师益友。
由于工作量大、水平有限，难免有一些错误和不妥之处，殷切希望广大读者给予指正。
机械工业出版社
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