《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》 - 邱成军, 曹姗姗, 卜丹 - 哈尔滨工业大学出版社 - 香港大書城

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『簡體書』微机电系统（MEMS）工艺基础与应用

書城自編碼： 2800198
分類：簡體書→大陸圖書→教材→研究生/本科/专科教材
作者：邱成军, 曹姗姗, 卜丹
國際書號(ISBN)： 9787560351094
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版日期： 2016-02-01

頁數/字數： 301页
書度/開本： 16 釘裝：平装

售價：HK$ 72.0

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內容簡介：

《微机电系统(MEMS)工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀），表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍传感器和执行器的基本原理、应用范围及其工艺流程；最后就MEMS在军事、医疗、汽车方面的应用及对MEMS器件实现检测的方法加以介绍。全书共分为10章，主要内容有：MEMS系统简介，MEMS相关力学基础，体硅加工工艺，表面微加工工艺，硅片键合工艺，LICA技术，MEMS传感器，MES执行器，MEMS的封装，MEMS的应用及检测技术。

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