《太赫兹行波管高频电路及其微制造技术》 - 马天军著 - 北京航空航天大学出版社 - 香港大書城

	登入帳戶　 \|　訂單查詢　 \|　購物車/收銀台(0)　\|　在線留言板　 \|　付款方式　 \|　運費計算　 \|　聯絡我們　 \|　幫助中心　\|　加入書簽
		會員登入新用戶登記

HOME

新書上架

暢銷書架

好書推介

2024年度TOP

臺灣用戶

品種：超過100萬種各類書籍/音像和精品，正品正價，放心網購，悭钱省心

服務：香港／台灣／澳門／海外

送貨：速遞／郵局／服務站

新書上架：簡體書繁體書
暢銷書架：簡體書繁體書
好書推介：簡體書繁體書

『簡體書』太赫兹行波管高频电路及其微制造技术

書城自編碼： 4053424
分類：簡體書→大陸圖書→教材→研究生/本科/专科教材
作者：马天军著
國際書號(ISBN)： 9787512443594
出版社：北京航空航天大学出版社
出版日期： 2024-03-01

頁數/字數： /
書度/開本： 16开釘裝：平装

售價：HK$ 42.9

我要買件

** 我創建的書架 **
未登入.

新書推薦：

《李鸿章传：20世纪四大传记之一》
售價：HK$ 41.8

《养正》
售價：HK$ 85.8

《 PCB封装与原理图库工程设计》
售價：HK$ 86.9

《长棍格斗》
售價：HK$ 118.8

《梵高·笔记（方尖碑）精选梵高传中的金句以及部分较为少见的梵高素描作品带有笔记风格兼具记事本盖章本素描本等多种功能》
售價：HK$ 42.9

《生命生存生活：道家人生哲学智慧》
售價：HK$ 130.9

《货币的社会生命（社会学新知）》
售價：HK$ 162.8

《自闭症学生职业教育创新实践研究》
售價：HK$ 74.8

建議一齊購買：

HK$ 66.0
《环境系统分析》

HK$ 63.9
《大学语文（第十一版）》

HK$ 57.3
《数据结构（C语言版）（第2版）》

HK$ 35.2
《化妆造型》

HK$ 56.4
《二十四节气农耕文化教程》

HK$ 54.8
《AIGC应用实战（慕课版）》

內容簡介：

《太赫兹行波管高频电路及其微制造技术》主要介绍了太赫兹辐射源之一的真空电子器件行波管在太赫兹频段下，其高频互作用电路的MEMS微纳制造方法，主要频段包括0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz，根据不同频段的折叠波导制备的特点，分别介绍了超精密电火花线切割技术、LIGA技术、UV-LIGA技术和DRIE技术的制备方法和过程，所尝试的工艺主要包括嵌丝形成电子注通孔，光刻胶形成折叠波导蛇形线，微纳米级晶粒的精密微细电铸，SOI深硅刻蚀等，并通过实验验证对这些工艺技术进行了总结。
　　《太赫兹行波管高频电路及其微制造技术》可作为从事物理电子学、电子信息工程专业的教师、学生以及从事太赫兹真空电子器件研发的工程技术人员的参考书籍。

第1章概述
1.1 行波管概述
1.2 行波管主要高频结构
1.3 行波管的发展趋势
1.4 折叠波导高频结构的国内外研究现状
参考文献
第2章折叠波导高频结构制备方法
2.1 折叠波导制备的难点
2.2 折叠波导制备的方法
2.2.1 MEMS技术
2.2.2 超精密电火花线切割制造技术
2.2.3 LIGA技术
2.2.4 UV-LIGA技术
2.2.5 DRIE技术
2.3 微细制造方法的应用
参考文献
第3章折叠波导高频结构微细制造方案
3.1 W波段0.1 THz折叠波导高频结构
3.1.1 超精密电火花线切割技术制造方案设计
3.1.2 LIGA技术制造方案设计
3.2 LIGA技术制造J波段0.3THz折叠波导方案
3.3 G波段0.22THz折叠波导以及集成级联结构微细制造
3.3.1 UV-LIGA技术制造折叠波导方案设计
3.3.2 UV-LIGA技术制造集成级联折叠波导方案设计
3.4 DRIE技术制造1.03THz折叠波导方案
参考文献
第4章折叠波导制备的关键工艺技术
4.1 超精密电火花线切割工艺的关键技术
4.1.1 电子注通道细长孔的制备
4.1.2 防止切割变形
4.2 LIGA工艺的关键技术
4.2.1 LIGA工艺的掩膜制备
4.2.2 嵌丝PMMA光刻胶制备
4.3 UV-LIGA工艺的关键技术
4.3.1 SU8厚胶制备
4.3.2 深度电铸
4.4 DRIE工艺的关键技术
4.4.1 掩膜版设计
4.4.2 准备DSOI硅片
4.4.3 干法深刻蚀
4.4.4 表面处理
参考文献
第5章折叠波导制备工艺实验研究
5.1 W波段0.1THz折叠波导制备
5.1.1 Ultra-fineWEDM工艺
5.1.2 LIGA工艺
5.2 LIGA工艺制备J波段0.3THz折叠波导
5.3 UV-LIGA工艺制备G波段0.22THz折叠波导
5.4 DRIE工艺制备1.03THz折叠波导
参考文献
第6章折叠波导制备工艺实施结果分析
6.1 精度检测
6.2 成分分析
6.3 金相分析
参考文献

書城介紹　 \|　合作申請　\|　索要書目　 \|　新手入門　\|　聯絡方式　 \|　幫助中心　\|　找書說明　 \|　送貨方式　\|　付款方式	香港用户　 \|　台灣用户　\|　海外用户

	megBook.com.hk
Copyright © 2013 - 2025 （香港）大書城有限公司　 All Rights Reserved.