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衍射极限附近的光刻工艺
『简体书』 作者：伍强 等 出版：清华大学出版社 日期：2020-02-01 集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。光刻工艺是集成电路制造业核心工艺技术之一，在集成电路的诸多领域， ... |
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现代集成电路工厂中的先进光刻工艺研发方法与流程
『简体书』 作者：李艳丽、伍强 出版：清华大学出版社 日期：2024-09-01 （1）总结了作者团队多年来在光刻工艺研发与制造上的工作经验，结合自研的、基于物理模型的光刻工艺仿真软件，直观地再现已经量产的各技术节点的光刻工艺性能参数，并且结 ... |
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衍射极限附近的光刻工艺（第2版）
『简体书』 作者：伍强、胡华勇、何伟明、岳力挽、张强、杨东旭、黄怡、李艳丽 出版：清华大学出版社 日期：2024-11-01 集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。光刻工艺是集成电路制造业核心工艺技术之一，在集成电路的诸多领域， ... |
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