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金刚石膜粒子探测器材料
『简体书』 作者:夏义本 出版:科学出版社 日期:2022-01-01 《金刚石膜粒子探测器材料》系统介绍了金刚石膜材料的物理性能、制备工艺技术以及材料与光电探测器件的关系和原理。其物理性能包括膜的结构、表面、界面及掺杂对热和光电性能的影响;制备工艺技术包括不同材质的衬底处理,详尽地描述了微波等离子体和热丝辅助 ... |
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