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王友年
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射频等离子体物理基础
『简体书』 作者：王友年, 宋远红, 张钰如 出版：科学出版社 日期：2024-06-01 本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。全书分两大部分，其中第一部分为第1~8章，主要介绍低温等离子体的物理模型，包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体 ... |
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电动力学
『简体书』 作者：王友年，宋远红 出版：科学出版社 日期：2020-04-01 本书是电动力学，内容包括：矢量分量和矢量微分、静电场和静磁场的理论、电磁现象的普遍规律、电磁波的传播与辐射、狭义相对论基础、运动带电粒子的辐射等。本书可作为高等院校理工科类本科生的教材，也可供相关人员参考使用。 ... |
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射频等离子体物理学
『简体书』 作者：[法]帕斯卡·夏伯特等著；王友年等译 出版：科学出版社 日期：2015-11-02 针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前*重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备 ... |
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