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集成电路与光刻机
『简体书』 作者:王向朝等 出版:科学出版社 日期:2020-08-01 光刻机是集成电路制造的核心装备,直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程;重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构 ... |
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高端光刻机像质检测技术(上册)
『简体书』 作者:王向朝等 出版:科学出版社 日期:2021-04-01 光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测 ... |
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高端光刻机像质检测技术(下册)
『简体书』 作者:王向朝,戴凤钊 出版:科学出版社 日期:2021-04-01 光刻机领域的前沿著作,系统性的解说光刻机像质检测技术 1958年,世界上*块集成电路诞生。60多年来集成电路一直按照摩 ... |
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