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大書城 以“ 全文 模式”搜“ 王向朝,戴凤钊 ”共有 3 结果: 同時支援繁體 / 正體 / 简体字輸入搜索
高端光刻机像质检测技术(下册) 高端光刻机像质检测技术(下册)
『简体书』 作者:王向朝戴凤钊  出版:科学出版社  日期:2021-04-01
光刻机领域的前沿著作,系统性的解说光刻机像质检测技术 1958年,世界上*块集成电路诞生。60多年来集成电路一直按照摩尔定律快速发展,集成度越来越高,单个芯片上的晶体管数量已经由*初的数十个发展到现 ...
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售價:HK$ 285.0

高端光刻机像质检测技术(上册) 高端光刻机像质检测技术(上册)
『简体书』 作者:王向朝等  出版:科学出版社  日期:2021-04-01
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测 ...
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售價:HK$ 310.0

集成电路与光刻机 集成电路与光刻机
『简体书』 作者:王向朝等  出版:科学出版社  日期:2020-08-01
光刻机是集成电路制造的核心装备,直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程;重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等;简要介绍了计算光刻技术;*后介绍了光刻机成像质量的提升与 ...
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售價:HK$ 76.6

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