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硅微机械陀螺误差建模理论与方法
『简体书』 作者:申强,谢建兵,郝永存,常洪龙,苑伟政 出版:科学出版社 日期:2023-03-01 本书共9章,以硅微机械陀螺为研究对象,通过数学物理方程推导微机电系统宏模型,采用对称拓扑设计微机械陀螺结构,制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺,根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路,从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理,并为减小误差提供 ... |
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微机电系统(MEMS)制造技术
『简体书』 作者:苑伟政,乔大勇 出版:科学出版社 日期:2014-07-01 微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科,它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响,并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实现微 ... |
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MEMS集成设计技术及应用
『简体书』 作者:苑伟政 等著 出版:国防工业出版社 日期:2014-11-01 《微米纳米技术丛书》 丛书作者以总装备部科技委相关专家组为主体 基于大量国家级的科技成果为背景 内容体现我国该领域诸多突破性的进展 吸收国内外同行专家的智慧编写而成 充分体现我国在该技术领域 ... |
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