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光刻胶材料评测技术——从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶
『简体书』 作者：[日]関口淳 出版：化学工业出版社 日期：2024-04-01 光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件光子器件中都有重要的应用。本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光 ... |
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