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微机电系统（MEMS）工艺基础与应用 微机电系统（MEMS）工艺基础与应用
『简体书』 作者：邱成军, 曹姗姗, 卜丹　　出版：哈尔滨工业大学出版社　　日期：2016-02-01
《微机电系统MEMS工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀），表面 ...		 詳情>>
售價：HK$ 72.0

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